Проведен анализ структурного состояния поверхностных слоев металлов после электроискровой обработки и последующего поверхностно-пластического деформирования. Определены структурные уровни и их масштаб, который находится в пределах 17…20 нм. Установлено, что плотность линейных дефектов после электроискровой и комбинированной обработки практически равна, так как основу механизма пластической деформации электроискровых покрытий составляют коллективные движения дислокаций (ротационные процессы).