При взаимодействии материала с ионными пучками или плазменными потоками на поверхности твердого тела и в его поверхностном слое протекает ряд процессов, которые определяют качество получаемых покрытий, их состав, скорость их нанесения. Предложена инженерная модель действия потока заряженных частиц различных сортов, зарядностей и энергий, а также капель материала, сконденсированного на подложку. Были получены поля температур и температурных напряжений, скорости нарастания температур, которые доказывают возможность получения наноструктурных материалов, как на глубине материала, так и на его поверхности в виде покрытия нанометровой толщины, которое имеет очень высокую адгезию к основному материалу. Ключевые слова: наноструктура, температурные поля, температурные напряжения, скорости нарастания температур.