Разработана математическая модель сложных перемещений исполнительного устройства автоматизированного вакуумного технологического оборудования, позволяющая управлять равномерностью нанесения тонких пленок с целью ее повышения. Приведены технологические преимущества l-координатных исполнительных устройств в сравнении с планетарными компоновками и основные пути управления и повышения равномерности нанесения тонких пленок в вакууме. Ключевые слова: электронная техника, приборы, нанесение тонких пленок, вакуумное оборудование

Технология машиностроения [Текст] : Обзорно-аналитический, научно-технический и производственный журнал // Технология машиностроения - М. : Технология машиностроения. — М. : Технология машиностроения, 2011.

• УДК // Металургія
• УДК // Одержання тонких плівок