Зведений каталог бібліотек Харкова
Белов, А. Н. Особенности проведения измерений в сканирующей электропроводящей микроскопии [Текст] / А.Н. Белов, С.А. Гаврилов, М.Ю. Назаркин, В.И. Шевяков // Известия вузов. Электроника. — 2011. — С. 75-81.
- Анотація:
Показаны функциональныевозможности сканирующей электропроводящей микроскопии (СЭПМ) в определении уровня электропроводимости наноразмерных элементов, исследовании наноструктуры материала проводящих покрытий, в количественном определении проводимости нанообъектов. Продемонстрирована возможность использования СЭПМ для выявления дефектов в многоуровневой металлизации ИС с нанометровыми топологическими нормами.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2011.
- Теми документа
