Описан метод лазерной рефлектометрии, позволяющий проводить in-situ измерения толщины и показателей преломления и поглощения тонких пленок в процессе их роста. Метод основан на измерении коэффициентов отражения системы воздух (вакуум)-пленка- подложка. Для численного решения использован генетический алгоритм поиска минимума функции нескольких переменных. Приведены результаты математического моделирования, показывающие работоспособность метода.

Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана.Сер. Приборостроение [Текст] : научно-теоретический и прикладной журнал. — 1998. — 4 : Специальный выпуск "Радиоэлектроника".

• УДК // Методи спостереження та обчислення