Исследовано влияние давления газовой смеси на температурные условия формирования, структурные и фазовые изменения в пленках нитрида титана в процессе электродугового испарения. Показано, что в исследуемом интервале давлений 0,6…1,4 Па структурные и фазовые превращения в пленках нитрида титана протекают при превышении температуры 640 К и скорости нагрева пленки 2,6 К/мин. Выявлено, что упорядоченная сплошная поликристаллическая пленка с максимальными механическими свойствами формируется только в оптимальном интервале технологических параметров.
