Рассмотрены технологии изготовления неразъемных узлов микроэлектронных датчиков и методы диагностики проводимых операций. Описаны физико-химические процессы и модели, описывающие процесс сварки кремния со стеклом в электростатическом поле. Предложены диагностические параметры, определяющие качество соединения Ключевые слова: технология, соединение, сварка, чувствительный элемент, диагностика, электростатическое поле
