Описаны результаты исследования распределения характеристических размеров кратеров, образованных в результате воздействия высокоскоростных частиц субмикронных и микронных размеров на поверхность оптического стекла. Источником частиц служит электродинамический ускоритель с встроенной системой регистрации параметров частиц. Определена функция связи между размерами частицы и кратером для конкретных материалов.