Рассмотрены универсальные образцы-свидетели, используемые в экспериментальных исследованиях плазменных потоков при вакуумной ионно-плазменной обработке. Определен круг задач, решаемых с помощью универсальных образцов, и представлено приборное оснащение, обеспечивающее необходимые измерения.
