Зведений каталог бібліотек Харкова
Баранов, О. О. Использование планарного магнетрона на этапе очистки при осаждении покрытий методом КИБ [Текст] / НАУ им.Н.Е.Жуковского "ХАИ". // . — С. 21-25.
- Анотація:
Исследована возможность использования планарного магнетрона для обработки поверхности перед осаждением плазменно-ионного покрытия.
- Є складовою частиною документа:
Вісті академії інженерних наук України.Спец.випуск.Машинобудування та прогресивні технології [Текст] // Вісті Академії інженерних наук України - К. — К., 2007.
- Теми документа