Показаны причины возникновения временной нестабильности в чувствительных элементах датчиков давлений и предложены методы по ее уменьшению. Предложен вариант чувствительного элемента датчика давления с тензорезисторами из монокристаллического кремния с удельным сопротивлением не менее 20 Ом•см. Ключевые слова: высокотемпературный датчик давления, временная стабильность параметров, дефекты полупроводника, КНД-структура, высокоомный кремний.

Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика [Текст] : Научно-технический и производственный журнал // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика - М. : Научтехлитиздат. — М. : Научтехлитиздат, 2011.

• УДК // Термічні датчики та перетворювачі