Разработан технологический маршрут исследовани справочных параметров полупроводниковых интегральных схем многоразрядных фазовращателей и аттенюаторов СВЧ-диапазона. В основу маршрута положена методика автоматизированных измерений первичных параметров и расчета вторичных параметров, реализованная на базе автоматизированного аппаратно-программного измерительного комплекса, интегрированного с САПР.
