Предложен интегральный сенсор терагерцового излучения на основе аподизированных и чирпированных с аподизацией открытых резонансных микроструктур. Показано, что путем выбора структуры и оптимизации ее конструктивных параметров можно получить простой, малогабаритный приемник терагерцового излучения с эффективностью преобразования электромагнитных волн 91,23 % в спектральном диапазоне 0,55 - 0,78 ТГц.