Кратко изложены основные методы измерения твердости материалов и рассмотрено состояние метрологического обеспечения данного вида измерений в Российской Федерации. Проанализированы особенности измерения в нанометровом диапазоне глубин индентирования, а также некоторые проблемы обеспечения единства измерений твердости в этой области. Предложен подход, позволяющий сравнивать результаты измерения в разных диапазонах линейных размеров (от микро- до нанометрового). Проведены исследования с использованием сканирующего нанотвердомера нового типа, подтверждающие возможность сравнения данных о твердости, полученных различными методами.