Проведены литературный обзор и анализ методов формирования островковых наноструктур. Составлена классификация существующих методов формирования островковых наноструктур. Выбраны методы для реализации дальнейших экспериментальных исследований в области формирования островковых пленок. Ключевые слова: островковые структуры; квантовые точки; наноструктура; вакуумные методы нанесения тонкопленочных покрытий; методы литографии.

Справочник. Инженерный журнал. [Текст] // Справочник. Инженерный журнал ; Выходит при содействии Международного Союза машиностроителей. - М. : Машиностроение. — 2011.

• УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
• УДК // Ніздрювата структура. Плівки, Тонкі плівки. Променеві структури