|
Автор: Пономаренко В.О., Разномазов В.М., Новиковский Н.М., Сарычев Д.А., Зинченко С.П., Ковтун А.П., Толмачев Г.Н.
-
Анотація:
Методом рентгенофлуоресцентного анализа при угле скользящего падения обнаружено, что на начальном этапе газоразрядного напыления ЦТС (Pb—Zr—Ti—O)-пленки на нержавеющую сталь имеет место исчезновение изначально существовавшей поверхностной мозаики (текстуры) подложки. Обнаружено, что на начальном этапе состав растущей в камере газового разряда ЦТС-пленки по поверхности нержавеющей стали на начальном этапе пространственно неоднороден: титан осаждается на ровную часть (зеркальную для рентгеновского излучения) поверхности подложки, а свинец и цирконий осаждаются в других местах. С увеличением времени напыления на подложку из нержавеющей стали элементный состав пленки ЦТС меняется и стремится к элементному составу распыляемой ЦТС-мишени. Ключевые слова: тонкие пленки, рентгеноспектральный спектральный анализ, текстура поверхности, модификация поверхности, газовый разряд.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Основи та методи вимірювання, аналітичні прилади. Запис та опрацювання
-
УДК // Стан речовини
-
УДК // Физическая химия
|
