Описаны конструкция малогабаритного устройства регистрации заряженных частиц и система контроля тока ионного пучка. Система содержит несколько датчиков для измерения ионного тока, что повышает информативность и дает возможность визуализации процесса имплантации и контроля параметров пучка ионов, а также позволяет проводить подстройку режимов ионной бомбардировки непосредственно при облучении.
