Описан принцип действия и приведены характеристики источника широких электронных пучков на основе разряда с самонакаливаемым полым катодом и расширенной анодной частью. Источник предназначен для ионного азотирования металлов в плазме электронного пучка. Исследовано влияние плотности тока (1–7 мА/см2) и энергии ионов (0.1–0.3 кэВ) на скорость азотирования аустенитной нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Показано, что максимальная скорость азотирования достигается при таком сочетании минимального напряжения смещения на образцах (100 В) и максимальной плотности ионного тока, которое обеспечивает распыление динамического оксидного слоя на поверхности образцов. Источник электронов, в котором электроны извлекаются через стабилизирующую сетку в направлении, нормальном к оси полого катода, обеспечивает формирование радиально расходящегося пучка электронов с начальным сечением 700 см2, током до 30 А и начальной энергией электронов 0.1–0.5 кэВ. Источник стабильно работает при давлении азотно-аргоновой смеси до 3 Па.
