Автор: Усанов Д.А., Скрипаль А.В., Абрамов А.В., Боголюбов А.С., Коротин Б.Н., Феклистов В.Б., Пономарев Д.В., Фролов А.П.
-
Анотація:
Приведено описание ближнеполевого СВЧ-микроскопа на основе полупроводникового автодинного генератора на диоде Ганна с зондом, выполненным с использованием микрокоаксиально-волноводного перехода с отрезком микрокоаксиала, центральный проводник которого выступает за пределы его внешнего проводника. Продемонстрирована возможность с помощью автодинного ближнеполевого СВЧ-микроскопа визуализировать с высоким пространственным разрешением рельеф и электрофизические свойства поверхности керамической пластины с нанесенным нанометровым слоем металла как в режиме прямого доступа к объекту сканирования, так и в режиме подповерхностного зондирования.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Інші електровимірювальні прилади
-
УДК // Спрямоване поширення електромагнітних коливань у цілому
|