Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Усанов, Д. А.
    Ближнеполевая СВЧ-микроскопия нанометровых слоев металла на диэлектрических подложках [Текст] / Д.А. Усанов, А.В. Скрипаль, А.В. Абрамов та ін. // Известия вузов. Электроника. — 2011. — С. 83-90.


Автор: Усанов Д.А., Скрипаль А.В., Абрамов А.В., Боголюбов А.С., Коротин Б.Н., Феклистов В.Б., Пономарев Д.В., Фролов А.П.

- Анотація:

Приведено описание ближнеполевого СВЧ-микроскопа на основе полупроводникового автодинного генератора на диоде Ганна с зондом, выполненным с использованием микрокоаксиально-волноводного перехода с отрезком микрокоаксиала, центральный проводник которого выступает за пределы его внешнего проводника. Продемонстрирована возможность с помощью автодинного ближнеполевого СВЧ-микроскопа визуализировать с высоким пространственным разрешением рельеф и электрофизические свойства поверхности керамической пластины с нанесенным нанометровым слоем металла как в режиме прямого доступа к объекту сканирования, так и в режиме подповерхностного зондирования.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Інші електровимірювальні прилади
  • УДК // Спрямоване поширення електромагнітних коливань у цілому



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт