Исследовано влияние толщины подслоя катализатора FeNiCo20 и ширины линий топологического рисунка на рост массивов углеродных нанотрубок УНТ. Обнаружено, что скорость роста массива на образцах с шириной линий менее 10 мкм замедляется и на скорость роста такого массива оказывает влияние толщина подслоя катализатора. С уменьшением толщины подслоя скорость роста падает. Поэтому, при проведении синтеза массивов УНТ заданной топологии, необходимо учитывать толщину каталитической пленки и корректировать время синтеза УНТ.