Представлен многофункциональный рентгеновский рефлектометр «X-Ray MiniLab», в котором применены оригинальные запатентованные технические решения, выгодно отличающие его от аналогичных установок известных мировых производителей. Приведены результаты комплексного исследования рентгеновскими методами многослойных тонкопленочных наноэлектронных структур, имплантированных слоев, а также нанопористых и ультрадисперных систем на основе кремния.
