Зведений каталог бібліотек Харкова
Белозубов, Е. М. Временная стабильность тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков давления на их основе [Текст] / Е.М. Белозубов, Н.Е. Белозубова, В.А. Васильев // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика : Научно-технический и производственный журнал. — М. : Научтехлитиздат, 2011. — С. 45-50.
- Анотація:
Рассмотрена временная стабильность тонкопленочных нано- и микросистем (НиМЭМС) с идентичными тензоэлементами и датчиков давления на их основе, выработаны условия и критерии временной стабильности. Ключевые слова: тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы (НиМЭМС), временная стабильность, температура, деформация, критерий, датчик давления, идентичный тензоэлемент.
- Є складовою частиною документа:
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика [Текст] : Научно-технический и производственный журнал // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика - М. : Научтехлитиздат. — М. : Научтехлитиздат, 2011.
- Теми документа
