Проведен анализ вакуумных методов формирования квантово-размерных наноструктур. Рассмотрены наиболее распространенные методы, их особенности, принципиальные схемы и условия формирования тонких пленок, в частности метод лазерного парофазного осаждения, обладающих преимуществами по сравнению с другими методами. Ключевые слова: лазерная абляция, эпитаксия, наноструктура
