Разработан способ формирования нанозазора с использованием сфокусированного ионного пучка для создания молекулярных туннельных наноструктур. Показано, что использование сфокусированного ионного пучка позволяет получать необходимые геометрические параметры наноэлектродов, приемлемые для дальнейшего применения в планарной технологии по формированию системы «нависающих» электродов в туннельных наноструктурах.
