621.38
Т33	Теоретическое исследование путей повышения процента выхода годных микросхем в процессе производства [Текст] : отчет о НИР (заключ.) : 503-126/73 / ХАИ ; рук. Колпаков Ф.Ф. ; исполн.: Зеленский А.А., Кутя Г.А., Милькевич Е.А., Солодовник В.Ф., Шевелев В.А. — Х., 1975. — 89 с.