Зведений каталог бібліотек Харкова
Бессонова, А. В. Закономерности процесса формирования полупроводниковых наноструктур с помощью фокусированного ионного пучка [Текст] / А.В. Бессонова, В.К. Неволин, А.В. Ромашкин, К.А. Царик // . — С. 27-32.
- Анотація:
Исследованы закономерности получения трехмерных наноструктур с помощью фокусированного ионного пучка. Выявлена зависимость глубины модифицированных ионным пучком структур от количества проходов травления для одной и той же дозы ионов с целью получения точного и предсказуемого формирования наноструктур.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2011.
- Теми документа
