Рассмотрены возможности компьютерного моделирования легирования кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности. Приведены результаты вычислений ионной имплантации примесей (фосфора, бора, мышьяка)наноколонны кремния. Ключевые слова: нанотехнологии и наноматериалы; компьютерное моделирование; легирование; имплантация; кремний; фосфор; бор; мышьяк.
