621.38
Р17	Разработка и совершенствование элементов микроэлектронной аппаратуры, процессов их получения и средств измерения параметров и свойств [Текст] : отчет о НИР (заключ.) : Г505-32/81 / ХАИ ; рук. Пономарев В.И. ; исполн.: Федоренко В.И., Алехин В.Е, Акулов В.Д., Кулик Ю.Г., Лещенко Н.Е., Мельник В.С., Олейник В.Н., Фирсов В.В., ЩипелевС.А. — Х., 1985. — 90 с.