621.38
Р17	Разработка системы контроля качества структуры диэлектрик-полупроводник с использованием электролитической ячейки [Текст] : отчет о НИР (промежуточ.) : 505-126/84 / ХАИ ; рук. Пономарев В.И., Лещенко Н.Е., Мишева Л.И., Мельник В.С., Кузнецов А.С., Долженков Н.В. — Х., 1984. — 102 с.