Рассмотрена возможность использования зондовой спектроскопии комбинационного рассеяния для неразрушающего и бесконтактного контроля степени электродеградации тонкопленочных металл-оксидных проводников с высоким пространственным разрешением. Исследовано распределение процесса электродеградации (под действием наложенного тока) вдоль поверхности тонкопленочных проводников на основе наноструктурированного мелкозернистого металл-оксидного нанокомпозита, полученного вакуумным осаждением железа в атмосфере кислорода при 1,3?10-3 Па на аморфной стеклянной подложке.
