У статті розроблена технологічна база для формування зміцненого поверхневого шару вакуумним термоциклічним азотуванням у плазмі пульсуючого тліючого розряду на основі автоматизованої системи контролю та управління. Розроблена функціональна схема автоматизованої системи контролю, а також визначені основні її параметри. Розроблен алгоритм технологічного процесу, який дозволяє контролювати та змінювати режими та технологічні параметри процесу дифузійного насичення на початковому етапі. Розроблена установка, яка дає можливість отримати пульсуючий тліючий розряд. Ключові слова: дифузійний шар, азотування, алгоритм, цикл, насичення, імпульс.