Разработка инновационных технологий создания полупроводниковых приборов для авиационной и космической техники является актуальной задачей. Совершенствование технологических процессов лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТР) требует разработки нового эффективного программного обеспечения. В данной работе рассмотрены созданные в ОАО «Московский завод Сапфир» промышленные установки для резки полупроводниковых и диэлектрических пластин методом ЛУТР и управляющие программы, разработанные для этих установок.
