Установлены закономерности изменения структуры, фазового состава, физико-механических, трибологических и коррозионных свойств, изнашивающей способности и напряжений в пленках на основе ZrN в процессе магнетронного распыления под влиянием технологических и температурных параметров их формирования. Получены нанокристаллические пленки с уникальным комплексом свойств
