Показано, что максимальные остаточные напряжения сжатия в многослойном покрытии TiN-Ti составляют более 7,5 ГПа (энергия ионов 200 эВ), а приближаются к 7 ГПа при энергии 70 эВ, что подтверждается теоретическими результатами. В многослойной системе TiN-Ti при слое титана менее 120 нм достигаются высокие: микротвердость Н = 35-36 ГПа и индекс пластичности Н/Е 0,11…0,12. Толщины слоев Ti более 30 нм оказывается достаточной, чтобы развитие напряженно-деформированного состояния в слоях TiN проходило без их существенной релаксации. Проведён анализ влияния на структуру, упруго напряженно-деформированное состояние и механические характеристики многослойной системы Ti-TiN, толщины Ti подслоя (в интервале 30-250 нм) и величины потенциала смещения (Uп) Ключевые слова: метод рентгеновской тензометрии, микротвёрдость, эволюционные методы, вакуумно-дуговые покрытия, макронапряжения сжатия