Зведений каталог бібліотек Харкова
Тимошенков, С. П. Некоторые вопросы исследования и разработки процесса сращивания структур "кремний на изоляторе" [Текст] / С.П. Тимошенков, В.В. Калугин, Л.В. Соколов, Н.М. Парфенов // . — С. 128-137.
- Анотація:
В настоящее время структуры «кремний на изоляторе» (КНИ) являются перспективной основой в области развития авиационных датчиков давления, микроэлектромеханических систем (МЭМС) устройств и определяют возможность перехода к нанотехнологиям. Применение КНИ позволяет уменьшать размер элементов до 50 нм, а также обеспечить полную электрическую изоляцию отдельных приборов на чипе.
- Є складовою частиною документа:
Вестник Московского Авиационного института [Текст] / Московский авиационный институт // Вестник Московского Авиационного института ; Московский авиационный институт - М. : МАИ. — М. : МАИ, 2012.
- Теми документа
