Предложены три решающих правила пооперационного выборочного контроля по выборкам малого объема (n=5 и 10) - эквивалентный граничный контроль, оперативная характеристика и эквивалентная оперативная характеристика . В результате анализа величины прогнозируемого брака при использовании каждого из этих правил можно утверждать, что эти правила являются пригодными для технологического процесса производства кристаллов интегральных микросхем и позволяют сократить субъективную составляющую прогнозируемого брака до 2,3 раз по сравнению с действующими методами контроля. Наибольший эффект дает применение эквивалентной оперативной характеристики. Ключевые слова: выборочный контроль, граничный метод, эквивалентная оперативная характеристика.
