|
Автор: Михеев С.Ю., Шкарбан И.И., Рыжов Ю.А., Хартов С.А., Горшков М.М., Марков Р.П.
-
Анотація:
Описан процесс изготовления пористых мембран из алюминиевой фольги (Al 99,99 %) методом электрохимического анодирования с последующим удалением сплошного барьерного слоя ионно- плазменным облучением. Получены мембраны диаметром 8 мм из Al2O3 толщиной от 2 до 5 мкм с регулярным расположением каналов. Показана возможность изменения диаметра каналов в диапазоне 20…100 нм путем регулирования напряжения и температуры при оксидировании. Приведены экспериментальные зависимости коэффициентов распыления алюминия и оксида алюминия от энергии и угла падения ионов ксенона в диапазоне энергий 100…400 эВ. Ключевые слова: наномембраны, электрохимическое анодирование, нанопоры, барьерный слой, анодный оксид, ионное распыление
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Властивості молекулярних систем
-
УДК // Загальна механіка. Механіка твердих та жорстких тіл
-
УДК // Физическая химия
|
