Рассмотрен случай неперпендикулярного падения луча на контролируемую поверхность. Поверхность представлена наложением плоских дифракционных решеток. Проведен анализ полученной дифракционной картины с учетом формы , ориентации и взаимного расположения дифракционных максимумов на плоском экране.
