Зведений каталог бібліотек Харкова
Никитин, А. В. Проблемы измерений размеров в микроэлектронной технологии [Текст] / А.В. Никитин // Измерительная техника : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 15-20.
- Анотація:
Проанализированы состояние и проблемы измерений размеров в технологии изготовления микроэлектронных изделий с проектными номерами в сотни или десятки нанометров в условиях промышленного производства.
- Є складовою частиною документа:
Измерительная техника [Текст] : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — М.
- Теми документа
