Рассмотрен комплекс эталонных средств измерений в составе набора эталонных мер высоты ступеньки и величины периода, предназначенных для трехмерной калибровки контрольно-измерительного оборудования на основе интерференционных оптических и сканирующих зондовых микроскопов, применяемых для измерения малых расстояний.

Измерительная техника [Текст] : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — М.

• УДК // Зразки, еталони, контрольно-вимірювальні прилади для перевірки і градуювання вимірювальних приладів/Эталоны и приборы для поверки, градуировки и калибровки измерительных приборов/Standards and instruments for calibration