Автор: Альзоба В.В., Кузин А.Ю., Ларионов Ю.В., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н.
-
Анотація:
Проведена оценка методической погрешности измерений геометрических параметров объектов методом дефокусировки электронного зонда растрового электронного микроскопа, обусловленной зависимостью результата измерений от параметров зонда.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронна мікроскопія
|