Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Альзоба, В. В.
    Выбор оптимальных параметров электронного зонда растрового электронного микроскопа при измерении геометрических параметров объектов методом дефокусировки зонда [Текст] / В.В. Альзоба, А.Ю. Кузин, Ю.В. Ларионов та ін. // Измерительная техника  : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 40-43.


Автор: Альзоба В.В., Кузин А.Ю., Ларионов Ю.В., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н.

- Анотація:

Проведена оценка методической погрешности измерений геометрических параметров объектов методом дефокусировки электронного зонда растрового электронного микроскопа, обусловленной зависимостью результата измерений от параметров зонда.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електронна мікроскопія



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт