Описаны конструкция вакуумной камеры, системы откачки и схема измерений для проведения исследований поверхностных свойств материалом комплексом методов оже-спектроскопии, термостимулированных экзоэлектронной эмиссии, люминисценции, поверхносного потенциала и проводимости.