|
Автор: Борисов Е.П., Гаврюшин В.М., Ким В., Козлов В.И., Назаров Д.А., Ястребов В.Г.
-
Анотація:
Приведены результаты исследования возможности ионного травления интегральных схем с помощью ускорителя с замкнутым дрейфом электронов с ленточным пучком (УЛП). Показана достижимость достаточно высокой равномерности травления и обеспечения высоких скоростей обработки типовых материалов, используемых при изготовлении интегральных схем.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Праці співробітників ХАІ // Ким В.П./Ким В.П.
-
Праці співробітників ХАІ // Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ
-
УДК // Фізика плазми
| 