|
Автор: Залюбовский И.И., Гнап А.К., Пелихатный Н.М., Мельников В.И., Котлинский В.И., Щапов Ю.Ф., Пимкин В.А.
-
Анотація:
Статья посвящена вопросам изучения физических явлений , происходящих при внедрении ионов в полупроводники. При изучении распределения внедренных ионов наблюдается отклонение экспериментального профиля от теоретически рассчитанного.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
-
Праці співробітників ХАІ // Мельникова В.І./Мельникова В.И.
-
Праці співробітників ХАІ // Пимкин В.А.
-
Праці співробітників ХАІ // Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ
| 