| | Кузин, А. Ю. Методика калибровки сканирующего оптического микроскопа ближнего поля при измерении геометрических параметров объектов в режиме квазитрения [Текст] / А.Ю. Кузин, П.А. Тодуа, В.И. Панов та ін. // Измерительная техника : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 15-18. |
| | |
|