Компонентами микросистемной техники (МСТ) называют интегрированные микроэлементы с размерами от микрометра до миллиметра, объединяющие электрические и трёхмерные механические элементы. При таких размерах особое значение приобретают поверхностные эффекты, связанные с трением и смачиваемостью, а также электростатическое взаимодействие, поскольку отношение площади поверхности к объёму для элементов МСТ на порядки больше, чем для "обычных" электромеханических устройств.
