|
Автор: Бодунов Д.С., Гавриленко В.П., Заблоцкий А.В., Кузин А.А., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н.
-
Анотація:
Разработан и утвержден тип стандартного образца параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния ГСО 10030–2011, предназначенного для калибровки просвечивающих электронных микроскопов в диапазоне увеличений 1000 – 1500000 ?. Аттестуемые параметры– значения шага шаговой структуры и расстояние между плоскостями (111) монокристаллического кремния в материале образца– независимо прослеживаются к единице длины – метру.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Метрологія. Вага та міри
-
УДК // Нанотехнологія
| 