Описан процесс импульсной термообработки омических контактов к полупроводниковым структурам с контролем сопротивления непосредственно в процессе термообработки. Предложено дополнить технологию импульсной термообработки оптическим методом контроля поверхности омических контактов Ключевые слова: омический контакт, сопротивление, контроль

Контроль.Диагностика [Текст] : журнал Российского общества по неразрушающему контролю и технической диагностике (РОНКТД) // Контроль. Диагностика - М. : Спектр. — М. : Машиностроение, 2012.

• УДК // Фотоелектричні лампи та елементи