Приведены результаты исследований высокотемпературной диффузии примесей Mg, F, O из пленки MgF2 в приповерхностных слоях ионных кристаллов KBr. Распределение примесей по глубине после диффузионного отжига кристаллов исследовано методом вторичной ионной масс-спектрометрии. Показано, что в процессе отжига кристаллов KBr кроме диффузии ионов Mg и F происходит диффузия ионов O из окружающей атмосферы Ключевые слова: диффузия, ионные кристаллы, вторично-ионная масс-спектрометрия
