Описан опыт МГТУ "СТАНКИН" в проектировании современных отечественных координатно-измерительных машин, в том числе и с субмикронной точностью, приведены технические характеристики машин, конструктивные решения, особенности программно-математического обеспечения Ключевые слова: координатно-измерительная машина, субмикронная точность, компенсация погрешностей, специальное программно-математическое обеспечение, язык программирования измерений